半導体デバイス: 基礎理論とプロセス技術

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産業図書, 2004 - Reference - 499 pages
本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。

Bibliographic information

Title半導体デバイス: 基礎理論とプロセス技術
AuthorS.M. ジィー
Translated by南日康夫, 川辺光央, 長谷川文夫
Publisher産業図書, 2004
ISBN4782855508, 9784782855508
Length499 pages
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