Harte amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten mittels mittelfrequenzgepulster Plasmaentladungen: Prozesscharakterisierung und Schichteigenschaften

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Technische Universität Chemnitz, 2012

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TitleHarte amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten mittels mittelfrequenzgepulster Plasmaentladungen: Prozesscharakterisierung und Schichteigenschaften
AuthorMarcus Günther
PublisherTechnische Universität Chemnitz, 2012
  
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