はじめての半導体製造装置

Front Cover
工業調査会, 1999 - 254 pages
本書は、半導体製造装置の入門書であるが、単に半導体製造装置の種類や技術を紹介するにとどまらず、半導体市場や技術との絡み、装置としての特殊性といった解説を交えて、読者がより広く半導体製造装置を捉えられるように執筆されている。

What people are saying - Write a review

We haven't found any reviews in the usual places.

Other editions - View all

Bibliographic information