プラズマイオンプロセスとその応用

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電気学会
オーム社, 2005 - Electrodynamics - 279 pages
本書では、プラズマイオンプロセス法にかかわるプラズマ技術、イオン運動の物理、三次元基材に適用する条件などの物理に関する事柄から、生産部品の改質技術、半導体への適用技術などの応用技術も広く扱われている。

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