ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡

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日本表面科学会
丸善, 2004 - 188 pages
本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新しい切り口からSEMの能力と可能性をまとめたものである。おそらく、少なからぬ方がSEMでもこのようなものが観えるのか、あるいは、このような使い方もあるということに驚かれるであろう。原子レベルの分解能がなくとも、操作性の良さと他の計測法や加工法との複合化のしやすさにより、単なる観察手段にとどまらず、ナノ計測・ナノ加工のツールとして、ますます重要な位置を占め、その応用範囲が広がっていくものと考えられる。物質系のナノサイエンス、ナノテクノロジーを中心とした構成。

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