初歩から学ぶ真空技術: 基礎から応用まで

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日本真空工業会
工業調査会, 1999 - 274 pages
真空技術は産業界の多様な分野で使われ、なくてはならない技術となっている。それは、真空環境には、(1)清浄な状態にすることができること、(2)気体分子・原子の利用が容易になること、(3)電子、イオンなどをコントロールしながら利用できることなど、大気環境にはないメリットがあるためである。本書は、真空技術の基礎知識から応用までを現場の第一線で活躍している技術者が詳細に解説したもので、関連技術者の入門書として最適である。

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