半導体製造装置用語辞典 |
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Common terms and phrases
読み方
意味
英語 番号 用語
読み方
意味 sôchi system イオン ウェーハ エッチング ガス させ させる システム ダイ データ できる テスト とき など なる において によって により による パターン フィルタ プラズマ ボンディング マスク より られ レーザ レジスト ろ過 ワイヤ 位置 移動 温度 加工 加熱 回転 回路 基板 機能 及び 供給 形成 欠陥 結晶 検査 検出 研削 交換 工程 構成 行う 材料 酸化 使用 試験 時間 自動 樹脂 出力 処理 除去 照射 場合 状態 信号 真空 制御 成長 切断 設計 設備 洗浄 装置 装置 測定 測定デバイス 速度 注入 電圧 電気 電極 電子ビーム 電流 発生 半導体 反応 番号
用語
読み方 表面 描画 方向 方式 方法 又は 用いられる 用語 利用 粒子 露光装置 論理